- 产品介绍
- ULFA技术
/ 产品介绍 / 脱气、给气 / 抗静电装置
- 去离子水控制静电
- 使用中空纤维气体透过膜（Membrane Module）
- 去离子水溶解二氧化碳，调整电阻率
- 系统控制简单，故障率低
(二氧化碳在大气中体积比重小，易溶于水，不影响去离子水水质，可降低电阻率)
适用范围
| 范围 | 用途 | 效果 |
|---|---|---|
| LSI LCD OLED |
- 显示器清洗(Display cleaning) - 口罩清洗(Mask cleaning) - 高压清洗(High pressure cleaning) - (Cell cleaning) - 切割工程清洗(Cleaning in dicing process) |
- 防止静电导致的灰尘 - 기防止电路板破坏 |
- 1000SL (1.2L/分)
- – 处理流量：0.7~1.2 L/分
- – 电阻率调整范围：0.1~1.0 ㏁•㎝
- – 原水压力：0.05~0.4 MPa（常用）Max. 0.5 MPa
- – 二氧化碳供给压力：低于0.2 MPa
- – 二氧化碳设定压力：0.05~0.15 MPa（纯度99.5%以上）
- – 原水温度 : 20~30 ℃
- – 电源 : DC 24 V (0.2A)
- – 接地 : D种接地以上
- 20LU (20L/分)
- - 处理流量：3~18 L/分
- - 电阻率调整范围 : 0.1~1.0 ㏁·㎝
- - 原水压力：0.05~0.4 MPa（常用）Max. 0.5 MPa
- - 二氧化碳供给压力：低于0.2 MPa
- - 二氧化碳设定压力：0.05~0.15 MPa（纯度99.5%以上）
- - 原水温度 : 20~30 ℃
- - 电源 : DC 24 V (0.2A)
- - 接地：D种接地以上
- 25A (25L/分)
- - 处理流量：3~22 L/分
- - 电阻率调整范围：0.06~0.1 ㏁·㎝
- - 原水压力：0.05~0.30MPa（常用）Max. 0.35MPa
- - 二氧化碳供给压力：低于0.2 MPa
- - 二氧化碳设定压力：0.05~0.15 MPa（纯度99.5%以上）
- - 原水温度 : 20~30 ℃
- - 电源 : DC 24 V (0.2A)
- - 接地：D种接地以上
- UCL-50A (50L/分)
- - 处理流量：0~50 L/分
- - 电阻率调整范围：0.06~0.1 ㏁·㎝
- - 原水压力：0.05~0.30MPa（常用）Max. 0.4MPa
- - 二氧化碳供给压力：低于0.2 MPa
- - 二氧化碳设定压力：0.05~0.15 MPa（纯度99.5%以上）
- - 原水温度 : 20~30 ℃
- - 电源: DC 24 V (0.2A)
- - 接地：D种接地以上