- PRODUCT
- ULFA Technology
/ PRODUCT / 멤브레인 / 케미컬
RECOS 의 특성 및 장점
- 낮은 독성
- 높은 인화점(136℃)
- 소방법의 규제를 받지 않는다.
- 냄새가 거의 없다.
- 물에 쉽게 용해(세정 후 순수 린스 가능)
- 오존에 의한 RECOS 액의 재생 가능
- CUP세정액(RECOS)
- - 반도체 제조공정의 Coater/Dev 장치 내 Coater Cup 의 RESIST 제거 및 세정
- - 기존 유기용매들의 단점을 보완한 제품(강한 독성과 냄새 , 발화의 위험성 , 소방법 상의 규제 등)
- 대전방지제(AC-1)
- - 외부용 대전방지제
- - 액정 제조 공정에서 정전기에 의한 문제점 개선
- - TFT제조 공정에서 좋은 수율
- - 전자 공업에서 폭넓게 사용