- 产品介绍
- ULFA技术
/ 产品介绍 / 脱气、给气 / 脱气装置
- 去除水中或液体内溶解气体成分（O2, CO2, N2, H2等）
- 彻底防止微泡的产生
- 使用高效率气体隔离膜（膜组件
- 用于去离子水、显影液、有机溶剂（稀释剂及防腐剂等）等
- 独家设计的AIR Ejector（空气抽出）形式
- 最高高达98%的脱气率
- 可适用大流量脱气
- 可实时脱气
适用范围
| 范围 | 用途 | 效果 |
|---|---|---|
| 半导体 | - 显影工程 - 涂布工程 - 清洗工程 |
- 用于工程的溶液（光致抗蚀剂、稀释剂、显影剂等）事先防止微泡的产生，防止微泡产生在晶元、花纹、接触孔上 - 提高工程效率，减少质量不良 |
| 产业 | - 精密部件清洗工程 - 显示器（LCD、 OLED等）清洗工程 - 锅炉循环水 - 建筑楼供水管 - 纤维染色 |
- 提高清洗液的渗透力，可清洗到微小部分 - 去除清洗液中的溶解氧，防止产生氧化膜 - 加强超音波清洗冲击力，提高清洗效果 |
| 食品 | - 食品制造烹调水 - 豆腐充填水 - 速食米饭 - 饮料、酒类 |
- 提高水分渗透力，降低烹饪温度，提高工作效率 - 炊饭时，能减少泡米的时间，可提高工作效率 - 减少豆芽及嫩芽等的栽培期，增大营养成分比率 - 去除溶解氧，延长食品有效期 |
产业用脱气装置
- 饮料、酒类、食品加工用水、健康食品用脱气
- 锅炉供水脱气
- 真空压力：-690mmHg ~ -740mmHg（70~20 Torr）
- 处理水中的溶解氧：5[mg/L]以下（常温、标准流量时）
- 电源：3相AC 220V / 380V
- 消耗电力 : 3.3 KW / 3.7 KW / 5.5 KW
- UDI-1TA
- - 标准流量 : 1 ton/hr
- UDI-5TA
- - 标准流量량 : 5 ton/hr
- UDI-10TA
- - 标准流量 : 10 ton/hr
- 可量身定制，型号规格可能会不一致。
Developer / Thinner 脱气装置
- 稀释剂脱气（半导体/LCD工程）
- 光致抗蚀剂脱气（半导体/LCD/彩色滤光片）
- 其他有机溶剂的脱气
- 真空压力 : -690mmHg (70 Torr)
- 电源 : 100 ~ 220V AC / DC 24V 1.5A
- 通讯接口 : RS-232C
- UDO-3006B (Developer 脱气装置)
- - 标准流量：1.7 L/分（每1系统组件）MAX 3 L/分
- UDT-156B-3L (稀释剂脱气装置)
- - 标准流量：50 cc/分（每1系统组件）Max 150 cc/分
- UDT-154B (稀释剂脱气装置)
- - 标准流量：50 cc/分（每1系统组件）Max 300 cc/分
- 可量身定制，型号规格可能会不一致。
IPA 脱气装置
- 显影液脱气（半导体/LCD工程）
- 去离子水脱气
- 打印机墨水脱气
- 最大真空压力 : -660mmHg
- 原水温度 : 20~30 ℃
- 电源 : DC 24V
- 通讯接口 : RS-232C
- UDT-152A-2
- - 脱气组件：SEPAREL PF-13F(P)10K
- - 脱气系统：Max.2系统
- - 标准流量：50 cc/分 （每1系统组件）Max. 150 cc/分
- 可量身定制，型号规格可能会不一致